文献类型：期刊文章

作　　者：沈军[1] 刘源[1,2] 李晓光[1]

机构地区：[1]同济大学波耳固体物理研究所,上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海200092 [2]上海理工大学理学院,上海200090

出　　处：《硅酸盐学报》

基　　金：国家自然科学基金(11074189,50802064,50752001);国家科技支撑计划(2009BAC62B02);国家“863”计划;上海市科委(09520714300,10520706800,0952nm00700)资助项目

年　　份：2010

卷　　号：38

期　　号：11

起止页码：2054-2058

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20105013489520)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用溶胶-凝胶法制备了用于高功率激光装置的SiO_2减反射膜,并在室温条件下采用气相法对该薄膜进行表面修饰。结果表明:修饰后薄膜的疏水性能、激光损伤阈值均有明显提高;其在大气环境下的耐候性与普通薄膜相当,但对有机污染物的抗性明显提高;经六甲基二硅胺烷修饰、氨气氛及热处理后的薄膜表现出对有机烷类良好的抗污染性能。

关 键 词：溶胶-凝胶 二氧化硅减反薄膜  表面修饰 抗污染性  硅烷化

分 类 号：O484.4]