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WO_3对O_3敏感特性研究
Study on the Sensitive Properties of WO 3 to Ozone
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]云南大学佐波传感技术研究中心 [2]云南大学实验中心
年 份：1999
期 号：5
起止页码：28-30
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：】实验发现ＷＯ３半导体材料对Ｏ３有好的敏感特性，而且元件的烧结温度和工作温度对其敏感特性有大的影响。在对这些参数优化的基础上，研制出了具有较好特性的Ｏ３气敏元件。测定了元件灵敏度与Ｏ３浓度的关系，初步讨论了元件对Ｏ３气体敏感的机制。
关 键 词：半导体 臭氧传感器 三氧化镍 臭氧 敏感特性
分 类 号：TP212.04] X13]
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