文献类型：期刊文章

作　　者：杨和梅[1] 陈云富[1] 徐秀英[1]

机构地区：[1]南京农业大学工学院机械系,南京210031

出　　处：《科学技术与工程》

基　　金：江苏省农机局项目(gxz09010)资助

年　　份：2010

卷　　号：10

期　　号：32

起止页码：7881-7885

语　　种：中文

收录情况：RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：应用直流磁控反应溅射技术在不锈钢基体上制备Al2O3薄膜,研究了溅射气压、氧气流量和基体温度对Al2O3薄膜的沉积速率和膜基结合力的影响规律。结果表明,随着压力的增大,沉积速率和膜基结合力先增大后减小。在压力为1.0Pa时最大;随着氧气流量的增加,沉积速率和膜基结合力也随之不断减小;随着温度的升高,沉积速率和膜基结合力略有下降。利用扫描电子显微镜观察了薄膜与基体界面及薄膜的表面微观形貌,薄膜与基体的结合性好,薄膜表面晶粒大小均匀,组织致密。

关 键 词：直流磁控反应溅射 氧化铝薄膜 工艺研究  沉积速率

分 类 号：O484] TB43[物理学类]