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期刊文章详细信息

应变Si PMOSFET电流特性研究    

Study on Strained Si PMOSFET Current Characteristic

  

文献类型:期刊文章

作  者:胡辉勇[1] 崔晓英[1,2] 张鹤鸣[1] 宋建军[1] 戴显英[1] 宣荣喜[1]

机构地区:[1]西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件重点实验室,西安710071 [2]中国电子科技集团第五研究所分析中心,广州510610

出  处:《电子器件》

基  金:国家部委资助项目(51308040203,6139801,72104089)

年  份:2010

卷  号:33

期  号:4

起止页码:438-441

语  种:中文

收录情况:CAS、INSPEC、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘  要:生长在弛豫SiGe层上的Si产生张应变,使载流子的迁移率显著提高,因此应变SiPMOSTET可以得到非常好的性能。在讨论分析了应变SiPMOSFET的结构特性和器件物理的基础上,推导泊松方程求出解析的阈值电压模型,以及电流电压特性,和跨导等电学特性参数模型,并用MATLAB进行了模拟,与参考文献取得了一致的结果。此模型作为对PMOSFET进行模拟是非常有用的工具。

关 键 词:应变SI PMOSFET 阈值电压 I-V特性

分 类 号:TN432]

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同被引文献:

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