期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件重点实验室,西安710071 [2]中国电子科技集团第五研究所分析中心,广州510610
基 金:国家部委资助项目(51308040203,6139801,72104089)
年 份:2010
卷 号:33
期 号:4
起止页码:438-441
语 种:中文
收录情况:CAS、INSPEC、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要:生长在弛豫SiGe层上的Si产生张应变,使载流子的迁移率显著提高,因此应变SiPMOSTET可以得到非常好的性能。在讨论分析了应变SiPMOSFET的结构特性和器件物理的基础上,推导泊松方程求出解析的阈值电压模型,以及电流电压特性,和跨导等电学特性参数模型,并用MATLAB进行了模拟,与参考文献取得了一致的结果。此模型作为对PMOSFET进行模拟是非常有用的工具。
关 键 词:应变SI PMOSFET 阈值电压 I-V特性
分 类 号:TN432]
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引证文献:
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同被引文献:
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