文献类型：期刊文章

作　　者：李华[1] 唐飞[1] 王晓浩[1] 张亮[1] 杨吉[2] 王帆[1] 徐初隆[1] 吝涛[3] 丁力[3]

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京100084 [2]中北大学电子与计算机科学技术学院,太原030051 [3]岛津分析技术研发(上海)有限公司,上海201201

出　　处：《分析化学》

基　　金：国家自然科学基金(No.60706030);国家自然科学基金仪器专项(No.20827007);国家"863"计划(No.2007AA04Z337)资助

年　　份：2010

卷　　号：38

期　　号：11

起止页码：1678-1682

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCI(收录号：WOS:000285283300029)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000285283300029)、SCIE、SCOPUS、UPD、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于微机电系统技术(Micro electro mechanical system,MEMS),研制了微型高场非对称波形离子迁移谱(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)传感器芯片。芯片采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀和两次硅-玻璃键合工艺加工,尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,其中迁移区尺寸为10mm×5mm×0.2mm。设计了高场非对称方波电源,可输出最大频率2MHz,电压峰-峰值1000V,占空比20%～50%连续可调的方波射频电压。以乙醇为实验样品,分析了方波射频电压幅值对FAIMS传感器芯片性能的影响。实验表明,随着电压幅值的增加,FAIMS分辨率提高,灵敏度下降,补偿电压绝对值增大,且芯片对乙醇的检出限可达8.9mg/m3。

关 键 词：微机电系统 高场非对称波形离子迁移谱  方波射频电压  

分 类 号：TP212]