文献类型：期刊文章

作　　者：黄凯[1] 吕建国[2] 刘先松[3] 唐震[1]

机构地区：[1]安徽建筑工业学院数理系,合肥230601 [2]合肥师范学院物理与电子工程系,合肥230601 [3]安徽大学物理与材料科学学院,合肥230039

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：国家自然科学基金(No.50672001);安徽省高等学校省级自然科学研究重点项目(KJ2010A284)

年　　份：2010

卷　　号：39

期　　号：5

起止页码：1171-1175

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20104813444871)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用溶胶-凝胶技术在Si(111)和石英玻璃衬底上制备了Mg掺杂ZnO薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)和紫外-可见(UV-Vis)分光光度计测试薄膜的微结构、表面形貌和光学性质。结果表明:所得Mg掺杂ZnO薄膜仍为六角纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长,随着退火温度升高,薄膜的晶格常数c由0.5288 nm减小到0.5278 nm,粗糙度从3.8 nm增大到6.5 nm,光学带隙由3.26 eV增大到3.31 eV。

关 键 词：Mg掺杂ZnO薄膜  溶胶-凝胶法 微结构 光学性质

分 类 号：O484]