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三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究
Design and Construction of a Molecular Beam Mass Spectrometer with Three Differential Pumping Stages
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]大连理工大学等离子体物理化学实验室,大连116024
基 金：国家自然科学基金!(编号 1 95 75 0 0 7);大连理工大学重点学科发展基金
年 份：1999
卷 号：19
期 号：2
起止页码：128-133
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CSCD、CSCD_E2011_2012、核心刊
摘 要：研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置 ,该装置在 1330 0Pa典型气体采样压力下 ,三级差分抽气区的压力分别达到 5× 10 - 1,3× 10 - 3,1 2× 10 - 4Pa。利用该装置 ,已成功地实现了对活性离子物种N+ 和N+ 2 的“原位”
关 键 词：原位取样 离子检测 分子束质谱 三级差分抽气
分 类 号：TB773]
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