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Si衬底GaN基蓝光LED钝化增透膜研究 ( EI收录)
Research of Passivation and Anti Reflecting Layer on GaN Based Blue LED on Silicon Substrate
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心,江西南昌330047 [2]晶能光电(江西)有限公司,江西南昌330029
基 金:教育部长江学者与创新团队发展计划(IRT0730);国家863计划(2006AA03A128)资助课题
年 份:2010
卷 号:30
期 号:10
起止页码:2978-2982
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:20104613383565)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:在Si衬底GaN基蓝光LED芯片上生长了一层SiON钝化膜,使器件的光输出功率提高12%且有效降低了器件在老化过程中的光衰。对有、无钝化膜的样品进行性能比较,结果表明SiON钝化膜能有效隔离环氧树脂与高温芯片,缓解环氧树脂的老化变黄;又能部分弛豫环氧树脂对芯片的张应力,降低非辐射复合中心产生的几率;有效减小器件的侧壁漏电通道,降低器件的光衰和漏电流,提高器件的可靠性。
关 键 词:光电子学 SI衬底 光衰 增透膜 SION LED
分 类 号:TN312.8]
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