文献类型：期刊文章

作　　者：蒋冰莉[1] 杨坤涛[1] 王江安[2] 宗思光[2]

机构地区：[1]武汉光电国家实验室(筹)华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北武汉430074 [2]海军工程大学电子工程学院光电研究所,湖北武汉430033

出　　处：《激光与红外》

基　　金：国家高技术研究发展计划("863"计划)项目(No.2009AAJ139)资助

年　　份：2010

卷　　号：40

期　　号：10

起止页码：1096-1100

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：MOEMS声传感器是MEMS技术、微光学技术、声传感技术相结合发展的新一代声音传感技术,具有灵敏度高、抗电磁场和射频干扰等优点。针对水下潜艇对空声预警涉及的高灵敏度、低频响应好、微型化声传感器整列,研究了反射光强度调制型MOEMS低频声传感阵元。对MOEMS低频声传感器膜片的振动特性进行了有限元分析,得出振动膜片的几何参数,并对反射光强特性进行了仿真和实验。采用设计的MEMS膜片、850 nm波长的LED光源设计并制作了MOEMS低频声传感器样机,通过实验表明,该传感器低频响应好,灵敏度可达200 mV/Pa,达到了设计要求。

关 键 词：光纤声传感器  MOEMS 有限元分析 低频

分 类 号：TN209]