期刊文章详细信息
PI电容湿度传感器的研制
Development of Humidity Sensors of PI Capacitive
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华中理工大学电子科学与技术系
年 份：1999
卷 号：27
期 号：4
起止页码：46-48
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CSCD、CSCD2011_2012、核心刊
摘 要：采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺（ＰＩ）为介质膜，以铬、金为电极的电容式湿度传感器．给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理．测试结果表明：在相对湿度ＲＨ为０～９６％范围内Ｃ～ＲＨ曲线线性度良好，灵敏度为ＲＨ变化１％，电容变化０．１５～０．１７ｐＦ，该种湿度传感器的ＲＨ长期稳定性为３％／
关 键 词：聚酰亚胺薄膜 电容式湿度传感器 集成电路光刻工艺
分 类 号：TH837[仪器类] TP212]
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