期刊文章详细信息
白光相移干涉法测量三维表面轮廓的算法及实现
3D Surface Profile Measurement Based on the Phase-shift Interfering Technique
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]哈尔滨理工大学仪器仪表学院,黑龙江哈尔滨150080 [2]哈尔滨工业大学计算机与电气工程学院,黑龙江哈尔滨150001
年 份：1999
卷 号：4
期 号：3
起止页码：95-99
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA、DOAJ、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：依据白光干涉理论，利用相移干涉法，研究了三维表面轮廓测量的原理与系统构成，讨论了白光相移干涉法测量三维表面轮廓的算法和数据处理的实现过程．实验结果表明，测量结果和数据处理都可精确地满足被测工件的要求．
关 键 词：相移干涉法 算法 白光干涉 表面轮廓 测量
分 类 号：TG84] TH741.3]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
