期刊文章详细信息
微结构表面形貌的测量 ( EI收录)
Measurement of Microstructures Topography
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 [2]四川联合大学物理系
年 份：1999
卷 号：7
期 号：3
起止页码：7-13
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：总结了现有各种微结构表面形貌测量方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性、存在问题以及应用范围进行了比较。
关 键 词：微结构 表面表貌 测量 衍射光学元件 微细加工
分 类 号：TH741.3] TG84[仪器类]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
