文献类型：期刊文章

作　　者：巩盾[1,2] 田铁印[1] 王红[1]

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室,吉林长春130033 [2]中国科学院研究生院,北京100039

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：中国科学院三期创新工程资助项目

年　　份：2010

卷　　号：18

期　　号：8

起止页码：1754-1759

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20103713225996)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对离轴三反光学系统检测和装调的复杂性,提出了一套结合了干涉测量技术的计算机辅助装调方法。采用多视场ZYGO干涉仪自准干涉检验各种失调量产生的残余像差,得到表征系统失调量引起残余像差的一系列Zernike系数,利用Zernike系数与Seidel像差系数之间的相关性将之转化为几何像差作为校正对象。由光学设计软件求得与系统失调量相关的灵敏度矩阵,并确定对残余像差影响最敏感的失调量。当失调量被确定后,将调整后的结果再次代入光学设计软件进行验证。多次迭代后,得到系统的RMS值<0.04λ的良好结果,证明了这种指导装调的方法是行之有效的。

关 键 词：离轴三反系统  计算机辅助装调 干涉检验  灵敏度矩阵  

分 类 号：V248.3] TP391.7]