期刊文章详细信息
简谈多晶硅副产物四氯化硅的利用途径
Elementary Introduction Utilization Ways of Silicon Tetrachloride,the Byproduct of Polysilicon
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]昆明冶研新材料股份有限公司,云南昆明650031 [2]光明化工研究设计院,辽宁大连116031
年 份：2010
卷 号：28
期 号：4
起止页码：10-13
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、普通刊
摘 要：随着国内多晶硅产业的蓬勃发展,多晶硅主要副产物四氯化硅的环境污染问题日益突出。有效利用四氯化硅、减少环境污染是当前必须要解决的首要问题。探讨了目前多晶硅生产中副产物四氯化硅的利用途径。
关 键 词：多晶硅 副产物 四氯化硅 利用途径
分 类 号：TQ127.2]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
