文献类型：期刊文章

作　　者：章其初[1] 陈革[1] 王双[1] 池华敬[1] 周旭[1] 孟秀清[1]

机构地区：[1]皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所,山东德州253000

出　　处：《真空》

年　　份：2010

卷　　号：47

期　　号：4

起止页码：27-32

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳选择性吸收涂层于1995年在实验室制备成功,采用真空磁控溅射沉积。太阳吸收复合膜采用干涉吸收型膜层结构,由不同金属含量的两层金属陶瓷层组成吸收层。金属陶瓷吸收层采用在镀膜室中SS和Al金属靶,在溅射气体Ar和反应气体N2中同时溅射运行,SS靶非反应溅射沉积SS金属组分,Al靶反应溅射沉积AlN陶瓷组分。实验室沉积的SS-AlN吸收涂层的太阳吸收比高达94%～96%,室温辐射比3.5%～4.0%。皇明公司2001年开始产业化生产全玻璃SS-AlN真空太阳集热管。我们开发了立式集热管连续镀膜线,第一条镀膜线于2007年调试成功,投入生产。集热管镀膜线真空系统长约41 m,高约3 m。每条线日产约为1.8～2.0万支。

关 键 词：真空太阳集热管 太阳吸收涂层  金属陶瓷 磁控溅射 镀膜机 集热管镀膜线  

分 类 号：TB43]