期刊文章详细信息
纳米微孔SiO_2薄膜的Sol-Gel制备及气孔率控制 ( EI收录)
Preparation of Nanometer Porous Silica Thin Films by the Sol-Gel Technique and Their Porosity Control
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华中理工大学物理系 [2]中国科学院国际材料物理中心 [3]中国高等科技中心(世界实验室)
基 金：英国帝国理工学院访问学者基金
年 份：1999
卷 号：30
期 号：2
起止页码：190-192
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文报道了纳米微孔ＳｉＯ２薄膜的溶胶－凝胶（ｓｏｌ－ｇｅｌ）制备工艺，利用椭圆偏振光测试仪（Ｅｌｉｐｓｏｍｅｔｅｒ）直接测量了薄膜的厚度、折射率，从而得到了ＳｉＯ２薄膜的气孔率及气孔大小分布。
关 键 词：纳米微孔 SOL-GEL 薄膜 气孔率控制 二氧化硅
分 类 号：O484]
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