文献类型：期刊文章

作　　者：黄金永[1] 邓劲莲[1] 魏燕定[2]

机构地区：[1]浙江机电职业技术学院机电工程系,浙江杭州310053 [2]浙江大学机械工程学院,浙江杭州310027

出　　处：《机械设计》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50005020);863青年基金资助项目(863-2-2-11-3)

年　　份：2010

卷　　号：27

期　　号：7

起止页码：40-42

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对目前日益增多的超精密仪器仪表,一般给其提供良好工作环境的工作平台只能消除外界对其的振动干扰,对于仪器仪表自身各种执行机构动作所产生的干扰却无能为力。文中研究的微动平台不仅具有良好的定位功能,同时运用反定位原理,采用闭环PID控制算法,可以有效抑制设备自身产生的振动干扰,从而更全面地获得精密设备所需要的良好工作环境,实现真正意义上的超精密。

关 键 词：定位  抑振  超精密 微动平台  

分 类 号：TD302]