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燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究 ( EI收录)
Study on the Depositing High Quality Transparent Diamond Films by Combustion Flame Method
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]沈阳工业学院机械工程系 [2]哈尔滨工业大学机械工程系
基 金：国家自然科学基金;辽宁省自然科学基金
年 份：1999
卷 号：28
期 号：1
起止页码：74-78
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：采用燃焰法在大气环境下以３０μｍ／ｈ的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜。实验结果表明，较高的Ｖ（Ｏ２）／Ｖ（Ｃ２Ｈ２）和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件；提高反应气体中氧气浓度，可使沉积高品质透明金刚石薄膜的基体温度范围变宽。
关 键 词：燃焰法 金刚石薄膜 化学气相沉积
分 类 号：TQ163] O782.4]
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