期刊文章详细信息
负衬底偏压热灯丝CVD金刚石膜成核的研究 ( EI收录)
Nucleation of Diamond by Biased Hot Filament Chemical Vapor Deposition
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]重庆大学应用物理系
基 金：国家自然科学基金
年 份：1999
卷 号：28
期 号：1
起止页码：65-68
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文利用扫描电子显微镜和原子力显微镜研究了Ｓｉ（１００）衬底上热灯丝金刚石膜成核过程。在－２４０Ｖ和２５０ｍＡ下，在镜面抛光的Ｓｉ（１００）衬底上金刚石最大成核密度超过了１０１０ｃｍ－２。研究表明，负衬底偏压增强成核主要是发射电子和离子轰击的结果。
关 键 词：热灯丝CVD 金刚石薄膜 成电核子发射
分 类 号：O484.1] TQ163[物理学类]
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