文献类型：期刊文章

作　　者：王孝坤[1] 郑立功[1] 张学军[1]

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033

出　　处：《光学学报》

基　　金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新三期基金资助课题

年　　份：2010

卷　　号：30

期　　号：7

起止页码：2022-2026

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20103113111298)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：在总结各种检测凸非球面方法优缺点的基础上,提出了利用子孔径拼接干涉检测凸非球面的新方法。利用标准球面波前作为参考波面,用干涉法逐次测量非球面各区域的相位分布,去除参考波面偏差以及调整误差后,通过子孔径拼接算法就可以重构凸非球面全口径的面形分布。研究和分析了该方法的基本原理和基础理论,开发了综合优化和误差均化的子孔径拼接算法。设计和研制了子孔径拼接干涉检测装置,并结合实例对口径为140 mm的碳化硅凸非球面进行了子孔径拼接测量,得到了精确的全口径面形分布,其面形分布的峰值(PV)和均方根(RMS)值偏差分别为0.274λ和0.024λ(λ=632.8 nm),且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV和RMS值的偏差仅为0.064λ和0.002λ,从而提供了又一种定量测试凸非球面的手段。

关 键 词：测量  子孔径拼接干涉(SSI)  凸非球面  零位补偿测试  

分 类 号：TQ171.65] O436.1]