文献类型：期刊文章

作　　者：潘海彬[1,2] 丁建宁[2,3] 李伯全[1] 罗开玉[1] 王小飞[1]

机构地区：[1]江苏大学机械工程学院,江苏镇江212013 [2]江苏大学微纳米科学技术研究中心,江苏镇江212013 [3]江苏工业学院低维材料微纳器件与系统研究中心,江苏常州213164

出　　处：《江苏大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50775101);江苏省高校"青蓝工程"项目(2008-04);江苏省科技支撑计划项目(BE20080030)

年　　份：2010

卷　　号：31

期　　号：4

起止页码：447-451

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAB、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、EI(收录号：20103213128974)、IC、INSPEC、JST、MR、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：基于虚拟仪器技术及Rymaszewski四探针双电测组合法设计了薄膜电阻率自动化测量系统.在虚拟仪器软件LabVIEW和数字量输出模块NI 9401的控制下,利用基于CD4052芯片的接口电路实现电流探针、电压探针的自动切换,并通过LabVIEW程序控制Keithley 2400数字源表实现两次电压测量;同时根据两次电压测量结果由LabVIEW程序完成范德堡修正因子和方块电阻的计算;最终实现薄膜电阻率自动测量、记录和显示.试验结果表明,所设计的自动测量系统不仅可以满足多种薄膜电阻率测量要求,而且提高了测量精度和自动化程度,同时精简了薄膜电阻率测量过程.

关 键 词：虚拟仪器 方块电阻 薄膜电阻率  四探针双电测组合法  范德堡修正因子  

分 类 号：TP216]