期刊文章详细信息
用最小二乘法提高 CCD 干涉计量的精度 ( EI收录)
Improve the precision of the Interference Measurement
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]哈尔滨师范大学物理系 [2]清华大学
基 金：黑龙江省教委科研基金;黑龙江自然科学基金
年 份：1999
卷 号：20
期 号：1
起止页码：100-102
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文针对相位型光栅的面形测量，用最小二乘法做二次曲线拟合，解决了ＣＣＤ光学干涉计量中像素尺寸以及图像采集卡空间量化误差对测量精度的影响，使干涉条纹定位精度提高一数量级以上。对曲线拟合误差进行了讨论，给出了实测结果。
关 键 词：最小二乘法 CCD 干涉条纹 精度 干涉计量
分 类 号：TB96]
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