期刊文章详细信息
国内高纯气体应用现状
The Status of Application of High Purity Gases in China
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京化工大学北方学院,北京东燕郊迎宾北路45号101601
年 份：2010
卷 号：28
期 号：3
起止页码：7-9
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、普通刊
摘 要：阐述了我国高纯气体应用现状,强调了在电子工业生产中,特种高纯气体在大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件中的应用;在化学测量质量保证中,校准测量体系,评价分析方法的可靠性,检测分析仪器性能,实验室间检测能力比对中的应用;在工业生产中,在单项测量仪器或在线流程分析仪器中作为"零点气"的应用。
关 键 词：高纯气体 电子工业 质量保证 “零点”气体
分 类 号：TQ117]
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