文献类型：期刊文章

作　　者：弓满锋[1,2] 乔生儒[1] 卢国锋[1] 姬浩[1]

机构地区：[1]西北工业大学超高温结构复合材料国家重点实验室,陕西西安710072 [2]湛江师范学院机电工程系,广东湛江524048

出　　处：《材料科学与工艺》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50772089);高等学校学科创新引智计划资助项目(B08040)

年　　份：2010

卷　　号：18

期　　号：3

起止页码：415-419

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用多弧离子镀在AISIM2高速钢(HSS)上沉积了TiN硬涂层,试样中基体厚度为1mm,涂层厚度分别为3.0、5.0、7.0、9.0和11.0μm.应用X射线衍射(XRD)分析了TiN涂层中残余应力,测量了TiN(220)衍射晶面在五种不同倾斜角(Ψ=0°,20.7°,30°,37.8°和45°)下的X射线衍射峰.结果表明:在3～11μm涂层厚度范围内,TiN涂层中均表现出残余压应力且残余压应力值较大.TiN涂层中残余应力大致分布在-3.22～-2.04GPa之间,本征应力分布在-1.32～-0.14GPa,热应力约为-1.86～-1.75GPa.TiN涂层中残余应力值随涂层厚度变化是非线性增加的,随厚度增加表现出先增大后减小的变化趋势,多项式拟合后发现约在8.5μm厚时残余应力达到最大值.

关 键 词：TIN涂层 多弧离子镀 残余应力 XRD  涂层厚度

分 类 号：TB125] TB302.1[力学类]