期刊文章详细信息
四氯化硅氢化研究进展
Progress in research of hydrogenation of silicon tetrachloride
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州221004
年 份：2010
卷 号：46
期 号：6
起止页码：27-30
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：综述了四氯化硅热氢化法、氯氢化法和等离子体氢化法制备三氯氢硅的最新进展,并对这3种技术进行了对比。
关 键 词：四氯化硅 三氯氢硅 多晶硅 热氢化 氯氢化 等离子体法氢化
分 类 号：TQ127.2]
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