期刊文章详细信息
电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化
Design and Optimization of Distillation Process for Chlorosilane in Production of Electronic Grade Polycrystalline Silicon
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国成达工程有限公司,成都610041
年 份：2010
卷 号：20
期 号：3
起止页码：11-13
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：比较目前多晶硅生产中氯硅烷精馏的国内传统工艺和引进国外工艺;通过研究和借鉴,结合专家意见并进行模拟计算,设计和优化氯硅烷精馏工艺;简化流程,降低能耗,减少精制三氯氢硅中的杂质,从而提高多晶硅产品的品质。
关 键 词：多晶硅 精馏工艺 优化
分 类 号：TQ127.2]
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