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期刊文章详细信息

现代椭偏光谱学的回顾与展望    

An Overview and Prospect on Modern Spectroscopic Ellipsometry

  

文献类型:期刊文章

作  者:陈篮[1] 莫党[2]

机构地区:[1]中国人民解放军广州通信学院基础教研室 [2]中山大学物理系

出  处:《光谱实验室》

年  份:1999

卷  号:16

期  号:1

起止页码:19-23

语  种:中文

收录情况:CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、RSC、普通刊

摘  要:本文回顾了独具特色的椭偏光谱学近一个世纪的历史发展,综述了椭偏光谱学的应用现状,指出了其前沿研究领域,并对这一古老而又年轻的光谱学分支作了展望。

关 键 词:材料  光学特性 椭圆偏振光谱

分 类 号:O657.3]

参考文献:

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同被引文献:

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