文献类型：期刊文章

作　　者：董蜀湘[1] 王树昕[1] 沈文江[1] 李龙土[1] 桂治轮[1] 邱海波[2]

机构地区：[1]清华大学材料科学与工程系 [2]广东惠州华阳实业集团公司,广州516000

出　　处：《声学学报》

基　　金：国家自然科学基金

年　　份：1999

卷　　号：24

期　　号：2

起止页码：120-127

语　　种：中文

收录情况：AMR、BDHX、BDHX1996、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：对一种圆柱状结构、基于弯曲振动模式的压电超声微马达作了一些结构改进性探索和实验研究，并采用有限元方法对其振动模式进行了分析．已研制的直径为15mm、长25mm的微马达样机，显示出非常高的角分辨率（0．01°）、低速（30r／min～70r／min）和大的力矩（0．055N.m）特性，已在激光多维精密控制系统中获得成功的应用．

关 键 词：压电 超声微马达  结构  原理  弯曲振动模式  

分 类 号：TM38] TB55[物理学类]