期刊文章详细信息
微机电系统及其测量问题
The Micro-electro-mechanical System and Its Measurement
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国航空精密机械研究所,100076
年 份：1999
卷 号：18
期 号：1
起止页码：16-18
语 种：中文
收录情况：CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、ZGKJHX、普通刊
摘 要：微机电系统是基于纳米技术迅速发展起来的新兴技术，在航空、航天。信息、军事、环境控制、医疗、生物工程学等领域有广泛应用。它的巨大潜力将给国家带来难以估量的经济效益和社会效益。本文简要介绍微机电系统技术及相关的测试和控制问题。
关 键 词：微机电系统 微机械 纳米技术 测量
分 类 号：TH－39[机械类]
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