文献类型：期刊文章

作　　者：刘翊[1] 范真[1,2] 丁建宁[1,3,4] 凌智勇[1] 程广贵[1] 蒋楠楠[1]

机构地区：[1]江苏大学微纳米科学技术研究中心,江苏镇江212013 [2]江苏技术师范学院,江苏常州213001 [3]江苏工业学院低维材料微纳器件与系统研究中心,江苏常州213164 [4]常州市新能源工程重点实验室,江苏常州213164

出　　处：《功能材料》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50875115)

年　　份：2010

卷　　号：41

期　　号：5

起止页码：759-762

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20102613046175)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用微米级别的AFM球头探针对硅掺杂类金刚石薄膜进行了摩擦实验。研究了微米尺度下,外加载荷和扫描速率对薄膜摩擦性能的影响。考虑粘附的影响,提出了适用于微观低载荷接触摩擦力表征的修正Amonton公式。分析了摩擦系数与表面形貌粗糙峰之间的关系,根据薄膜表面粗糙峰的分布,建立了微米尺度下球头探针与薄膜表面粗糙峰的等效接触模型,并推导出了摩擦力f关于载荷参数(p)和形貌参数()的函数表达式f(p,),表明单位面积接触粗糙峰密度对摩擦力大小起着主导作用。所建接触模型成功解释了摩擦实验现象产生的原因。

关 键 词：硅掺杂类金刚石薄膜  球头探针  微米尺度  接触模型  

分 类 号：TG174.44] TH117.1]