期刊文章详细信息
21世纪初微电子技术发展展望
Prospects for the Microelectronics at the Beginning of Twenty First Century
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]电子部第十三研究所
年 份：1999
卷 号：36
期 号：1
起止页码：1-9
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：综述了微电子领域中纳米技术、ＭＥＭＳ、Ｓｉ和ＧａＡｓ集成电路、微波／毫米波器件及宽禁带半导体技术目前的发展状况。在此基础上，对其在２１世纪初期的发展做了展望。
关 键 词：纳米技术 MEMS 集成电路 宽禁带半导体
分 类 号：TN40] TN30
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