文献类型：期刊文章

作　　者：李华[1] 王晓浩[1] 唐飞[1] 张亮[1] 杨吉[2] 吝涛[3] 丁力[3]

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京100084 [2]中北大学电子与计算机科学技术学院,太原030051 [3]岛津分析技术研发(上海)有限公司,上海201201

出　　处：《物理化学学报》

基　　金：国家自然科学基金(60706030);国家自然科学基金仪器专项(20827007);国家高技术研究发展计划(863)项目(2007AA04Z337)资助~~

年　　份：2010

卷　　号：26

期　　号：5

起止页码：1355-1363

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、IC、INSPEC、JST、PUBMED、RCCSE、RSC、SCI(收录号：WOS:000277881600028)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000277881600028)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能.

关 键 词：高场非对称波形离子迁移谱  微机电系统 高场非对称方波  微法拉第杯  

分 类 号：TP212]