文献类型：期刊文章

作　　者：罗忠生[1,2] 杨建坤[1,2] 张美敦[1,2]

机构地区：[1]上海交通大学光纤技术研究所 [2]国防科技大学应用物理系

出　　处：《上海交通大学学报》

年　　份：1999

卷　　号：33

期　　号：1

起止页码：53-56

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：1999454799529)、IC、INSPEC、JST、MR、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：随着加工技术的发展，超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要．讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统，采用Ｚｅｅｍａｎ效应激光管得到差频光束，提出了新的优化测量光路．该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振态，不仅克服了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的缺陷，保证了系统的稳定性，且同时使接收端光束的偏振态方向一致，使干涉信号可见度最大，提高了系统的信噪比和测量精度．采用两光束同心聚焦扫描方法可实现表面粗糙度的绝对测量．光路结构简单，实用性强．通过样品测量研究了本系统的测量稳定性和测量精度．结果表明，系统对表面粗糙度测量精度均方根值小于１ｎｍ．

关 键 词：表面粗糙度 光学外差法  测量光路  超光滑

分 类 号：TH741.3] TG84[仪器类]