文献类型：期刊文章

作　　者：王强国[1] 高航[1] 裴志坚[2] 鲁春朋[1] 王碧玲[1] 滕晓辑[1]

机构地区：[1]大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连116024 [2]堪萨斯州立大学工业与制造系统工程系,曼哈顿66506

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：国家自然科学基金重点项目(No.50535020);山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题(No.KF0904)

年　　份：2010

卷　　号：39

期　　号：1

起止页码：67-71

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20101712896913)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：通过采用角度抛光和逐层抛光法以及择优化学腐蚀,对基于超声辅助磨削的KDP晶体试件进行亚表面损伤形式观察以及损伤深度检测,以便为后续加工提供指导。损伤检测实验表明:在超声辅助磨削工艺条件下,亚表面损伤以与磨粒运动方向平行的中位裂纹为主,且裂纹间距具有一定的规律性;亚表面损伤深度为19～48μm,磨头形状(有无倒角)较之磨头磨粒粒度对亚表面损伤深度具有更大的影响,使用有倒角的磨头可得最小亚表面损伤。

关 键 词：KDP晶体 磨削  超声辅助加工  亚表面损伤  角度抛光  

分 类 号：O643]