期刊文章详细信息
电子级磷酸工业化战略及其配套技术
Industrialization Strategy and Associated Technology for Electronic Grade Phosphoric Acid
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]武汉工程大学研究设计院,湖北武汉430074
年 份：2010
期 号：2
起止页码：15-19
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：为了适应半导体芯片、液晶制造业向中国转移,半导体芯片和集成电路微细加工、薄膜—液晶制造工艺需要的电子级磷酸包括MOS级、BV级万吨规模工业化装置正在各地建设。提出了发展我国电子级磷酸的工业化战略,并提出了与电子级磷酸制备工艺相关的配套技术开发意见和建议。
关 键 词：磷酸+电子级 电子化学品 工业化战略 技术
分 类 号：TN305]
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