文献类型：期刊文章

作　　者：何高法 唐一科 周传德 何晓平 吴英

He Gaofa1,2 Tang Yike1,2 Zhou Chuande2 He Xiaoping3 Wu Ying2 1.Chongqing University,Chongqing,400030 2.Chongqing University of Science and Technology,Chongqing,400050 3.China Academy of Engineering Physics,Mianyang,Sichuan,621900

机构地区：重庆科技学院机械与动力工程学院 重庆科技学院机械与动力工程学院 重庆科技学院机械与动力工程学院 中国工程物理研究院,绵阳621900 重庆科技学院电气与信息工程学院

出　　处：《中国机械工程》

年　　份：2010

期　　号：4

起止页码：410-414

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD（2011-2012）、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为设计制作高灵敏度、高稳定性的谐振式微加速度计,基于微制作工艺,采用柔性铰链机构和双端固定音叉谐振器设计了微加速度计结构;分别用解析法和有限元方法分析了加速度计的理论灵敏度,同时进行了谐振器结构优化设计;根据检测原理设计制作了测试用电路板,给出了开环谐振频率测试结果以及闭环时加速度测试结果。测试结果表明所设计的谐振式加速度计工作稳定,灵敏度约为55.03Hz/g,分辨力约为182×10-6g。

关 键 词：加速度计 谐振器 微制作工艺  有限元方法

分 类 号：TH7]