期刊文章详细信息
三氯氢硅生产工艺的优化
Optimization of trichlorosilane production process
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]江苏江东化工股份有限公司,江苏金坛213200
年 份：2010
卷 号：46
期 号：2
起止页码：28-30
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：分析三氯氢硅合成工艺、精馏工艺中存在的技术问题并进行了改进,介绍了技改取得的效果,并指出今后技改的方向。
关 键 词：三氯氢硅 合成工艺 精馏工艺 氯化氢 除尘 水分 尾气
分 类 号：TQ127.2]
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