文献类型：期刊文章

作　　者：王生怀[1,2] 陈育荣[2] 王淑珍[1] 谢铁邦[1]

机构地区：[1]华中科技大学机械学院仪器系,湖北武汉430074 [2]湖北汽车工业学院机械系,湖北十堰442002

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA042409);国家自然科学基金资助项目(No.50745020);湖北省教育厅重点资助项目(No.D20092301)

年　　份：2010

卷　　号：18

期　　号：1

起止页码：175-182

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20101212786752)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为满足精密位移的需要,研究开发了一种大行程、纳米级和计量型三维精密位移系统。采用模块化结构设计,即3个方向的驱动机构均采用完全相同的设计结构,分别称为X、Y、Z向一维工作台。位移系统在X、Y、Z3个方向采用粗、精两级驱动,并分别装有计量光栅。各方向粗驱动采用交流伺服电机配合精密丝杠和直线导轨进行,精驱动采用压电陶瓷微位移器配合柔性铰链进行,每个方向的两级驱动共用一套计量光栅,从而保证了位移系统的大行程、纳米级和计量型。介绍了位移系统的结构设计,分析了位移系统的位移分辨率、计量原理以及它的运动性能。实验表明,在40mm位移行程内,X、Y和Z向工作台两级驱动实际位移与设定位移之差分别不超过±0.030、±0.028和±0.033μm,验证了位移系统设计的有效性,为位移系统的设计提供了依据。

关 键 词：三维精密位移系统  结构设计  粗、精两级驱动  

分 类 号：TH703.8[仪器类]