文献类型：期刊文章

作　　者：谢勇君[1,2,3,4] 史铁林[3,4] 刘世元[3,4]

机构地区：[1]暨南大学电气自动化研究所 [2]广东珠海519070 [3]华中科技大学机械科学与工程学院 [4]武汉光电国家实验室(筹)光电材料与微纳制造研究部

出　　处：《计算机工程与应用》

基　　金：国家自然科学基金重点项目No.50535030;国家自然科学基金No.50775090;国家教育部新世纪人才支持计划No.NCET-06-0639~~

年　　份：2010

卷　　号：46

期　　号：7

起止页码：66-68

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用频闪成像和显微干涉技术设计开发了微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)离面微运动测试系统。系统在计算机控制下通过相对延时和五步相移干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内各不同时刻的干涉条纹图集,再通过五步相移算法和分割线去包裹算法分别对干涉条纹图和包裹相位图进行分析处理可得到被测MEMS结构的离面微运动情况。为实现浮点型相位图数据的有效存取,提出了一种新的相位图文件格式。通过实验对硅微悬臂梁在不同幅值正弦基础激励下的离面振动响应进行了有效测量,且测量重复性误差小于10nm。

关 键 词：微机电系统结构  频闪成像  显微干涉 离面微运动  

分 类 号：TP274.5]