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期刊文章详细信息

高精度电容式压力传感器测量方法    

Measurement method of high-precision capacitive pressure sensor

  

文献类型:期刊文章

作  者:周华鹏[1] 毛建国[1] 顾筠[2] 李芳培[1] 柏方超[1] 卢文玉[1]

机构地区:[1]南京航空航天大学能源与动力学院,江苏南京210016 [2]江苏广播电视大学信息工程系,江苏南京210017

出  处:《传感器与微系统》

基  金:国家自然科学基金资助项目(50776044);江苏省普通高校研究生科研创新计划资助项目(CX08B_044Z)

年  份:2010

卷  号:29

期  号:2

起止页码:104-107

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX2008、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘  要:提出了一种高精度、低成本的电容式压力传感器的测量方法。用RC振荡器将电容式传感元件的变化调制为时变频率信号,用SSP1492芯片测量该频率变化量,并送入C8051F021单片机,用高阶多项式完成频率变化到压力变化的解算,实现了高精度压力测量。实验结果显示:该方法用于电容式压力传感器的测量精度优于0.02%FS。

关 键 词:压力传感器 信号调理 压力测量  单片机

分 类 号:TP212.11]

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同被引文献:

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