文献类型：期刊文章

作　　者：陈杨[1,2] 隆仁伟[1] 陈志刚[1] 丁建宁[1,3]

机构地区：[1]江苏工业学院材料科学与工程学院,江苏常州213164 [2]常州市高分子新材料重点实验室,江苏常州213164 [3]常州市新能源工程重点实验室,江苏常州213164

出　　处：《摩擦学学报》

基　　金：江苏省工业支撑计划项目(BE2008037);常州市工业科技攻关项目(CE2007068;CE2008083);江苏省高校"青蓝工程"科技创新团队(2008-04);常州市科技平台专项(CM2008301)的资助

年　　份：2010

卷　　号：30

期　　号：1

起止页码：9-14

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20101312808444)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以无皂乳液聚合方法制备的聚苯乙烯(PS)微球为内核,硝酸铈为铈源,六亚甲基四胺为沉淀剂,采用液相工艺制备了PS/CeO2复合颗粒.利用XRD、TEM、SAED、FESEM、EDAX等手段,对所制备样品的物相结构、形貌、粒径大小和元素成分组成进行表征.将所制备的复合磨料用于硅晶片热氧化层的化学机械抛光,用AFM观察抛光表面的微观形貌,并测量表面粗糙度.结果表明,所制备的PS/CeO2复合颗粒具有核-壳结构,呈近似球形,粒径在250～300nm,PS内核表面被粒径在5～10nm的CeO2纳米颗粒均匀包覆,壳层的厚度为10～20nm.抛光后的硅热氧化层表面在5μm×5μm范围内粗糙度Ra值和RMS值分别为0.188nm和0.238nm,抛光速率达到461.1nm/min.

关 键 词：PS/CeO2  复合磨料  核-壳结构 包覆 化学机械抛光

分 类 号：TB383[材料类]