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我国真空与薄膜产业发展的新机遇
New Opportunity of Development of Domestic Vacuum and Thin Film Industry
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]东南大学薄膜研究所
年 份：1998
期 号：6
起止页码：1-5
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文简要介绍了平板显示器件（ＦＰＤ）近年来的飞速发展，论述了ＦＰＤ对薄膜的要求和常用于ＦＰＤ生产的三种类型的薄膜沉积设备，指出这是我国真空与薄膜产业发展的一次新的极好机遇。
关 键 词：薄膜 真空设备 平板显示器件 产业化 FPD
分 类 号：TB43] TB7
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