期刊文章详细信息
改进型三氯氢硅合成工艺初探
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]峨嵋半导体材料厂,所,峨眉山市614200
年 份：1998
期 号：4
起止页码：10-12
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：传统的三氯氢硅合成方法是将氯化氢和硅粉在沸腾炉中反应.此法中,约有15～20%的副产物四氯化硅产生,存在原料消耗高,产品成本高.新工艺应用化学平衡的原理,适当加入部分的四氯化硅,可抑制四氯化硅生成,吸收氯化氢中的微量水份,从而提高三氯氢硅的转化率,降低硅粉单耗,减少设备腐蚀,提高设备寿命.本文主要对改进型工艺进行初步设计探讨,分析传统工艺之不足,以期能对现有生产和技术改造工作有所指导.
关 键 词：三氯氢硅 合成 工艺设计 多晶硅 四氯化硅
分 类 号：TN304.12]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
