文献类型：期刊文章

作　　者：成永军[1] 李得天[1] 张涤新[1] 冯焱[1] 卢耀文[1] 赵澜[1] 徐婕[1]

机构地区：[1]兰州物理研究所,真空低温技术与物理国家级重点实验室,兰州730000

出　　处：《真空科学与技术学报》

年　　份：2010

卷　　号：30

期　　号：1

起止页码：54-59

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20101012758885)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用四极质谱计对316L不锈钢制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析。一个热阴极电离规(IE514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上。烘烤前,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有H2O、CO、H2、CH4和CO2。烘烤后,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有CO、H2、CO2和CH4。整个烘烤过程完成后2h,XHV校准室内的压力在室温下通过分子泵串联抽气机组抽至8.97×10-9Pa,用四极质谱计分析到的残余气体成分主要为H2和CO。整个烘烤过程完成后4h,打开非蒸散型吸气剂泵(NEGP)对XHV校准室抽气,结果表明NEGP对H2具有较大的抽速,但对碳氢类化合物(如CH4)和惰性气体几乎没有抽速。用NEGP对XHV校准室连续抽气72h后,XHV校准室内的压力从8.34×10-9Pa下降到9.12×10-10Pa。不锈钢XHV校准室内的残余气体成分中大量的CO和CO2主要来自于四极质谱计。

关 键 词：不锈钢 极高真空 残余气体 四极质谱计 非蒸散型吸气剂泵  

分 类 号：TB77]