文献类型：期刊文章

作　　者：钟志有[1] 顾锦华[2] 何翔[1] 孙奉娄[1]

机构地区：[1]中南民族大学电子信息工程学院,武汉430074 [2]中南民族大学计算与实验中心,武汉430074

出　　处：《中南民族大学学报（自然科学版）》

基　　金：湖北省自然科学基金资助项目(2009CDB166);中南民族大学自然科学基金资助项目(YZZ07004)

年　　份：2009

卷　　号：28

期　　号：4

起止页码：33-37

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA-PROQEUST、IC、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：采用射频磁控溅射工艺,以氧化锌铝(AZO)陶瓷靶作为靶材,通过优化工艺参数在玻璃基板上制备了具有c轴择优取向的AZO透明导电薄膜.基于X射线衍射(XRD)测试表征,研究了沉积温度对薄膜结晶性能的影响.实验结果表明:AZO薄膜的结晶性能与沉积温度密切相关,较低温度时,随着沉积温度的升高,薄膜的结晶性能得到提高,但是沉积温度进一步升高时却有所变差.当沉积温度为400℃时,AZO薄膜的结晶性能最佳,c轴取向良好,晶粒尺寸接近40 nm.

关 键 词：有机太阳能电池 阳极 结晶性能  

分 类 号：TM914]