文献类型：期刊文章

作　　者：高金海[1] 张武勤[1] 张兵临[2]

机构地区：[1]郑州师范高等专科学校物理系,河南郑州450044 [2]郑州大学物理工程学院,河南郑州450052

出　　处：《发光学报》

基　　金：教育部科学技术重点资助项目(205091)

年　　份：2009

卷　　号：30

期　　号：6

起止页码：872-876

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：在覆盖金属钛层的陶瓷上,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶膜。通过二极管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、XRD分析了场发射前后薄膜的结构和表面形貌的变化。发现在高场、大电流密度的场发射中,对类球状微米金刚石聚晶薄膜中的金刚石聚晶颗粒影响很小,而对金刚石聚晶颗粒间的非晶碳层影响很大。对类球状微米金刚石聚晶变化机理进行了研究。

关 键 词：微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 金刚石聚晶

分 类 号：TN873.95]