文献类型：期刊文章

作　　者：陈辰[1,2] 韩秋实[2] 张福学[2]

机构地区：[1]机械科学研究总院,北京100044 [2]北京信息科技大学传感技术研究中心,北京100101

出　　处：《北京信息科技大学学报（自然科学版）》

基　　金：北京市传感器重点实验室开放课题(KF20091077202);现代测控技术教育部重点实验室资助项目

年　　份：2009

卷　　号：24

期　　号：4

起止页码：35-38

语　　种：中文

收录情况：CSA、CSA-PROQEUST、JST、普通刊

摘　　要：针对MEMS技术和气体热对流倾角传感器技术的结合,介绍了基于气体热对流的微机械倾角传感器的国内外研究现状和发展趋势;着重分析该种传感器的原理和性能特点,特别是融合了MEMS技术和气体热对流敏感机理的优点:使传感器具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、可批量生产、优良的抗振动和抗冲击能力等特性。对基于气体热对流的微机械倾角传感器的进一步研究将有益于提高倾角传感器的性能和扩大其使用范围。

关 键 词：热对流 气体摆  倾角传感器 微电子机械系统 加速度计

分 类 号：TN379]