文献类型：期刊文章

作　　者：李丽[1] 刘素芳[2] 江莎[1] 刘子贻[3]

机构地区：[1]重庆邮电大学数理学院,重庆400065 [2]郑州铁路职业技术学院信息工程系,河南郑州450052 [3]重庆邮电大学光电工程学院,重庆400065

出　　处：《重庆邮电大学学报（自然科学版）》

基　　金：重庆邮电大学青年教师科技基金项目资助(A2007-37);重庆市教委科学技术研究项目资助(KJ090514)

年　　份：2009

卷　　号：21

期　　号：6

起止页码：781-784

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CSA、CSA-PROQEUST、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用直流反应磁控溅射法,用Zn(99.99%)掺Al(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜,用紫外可见、红外分光光度计等测试手段对沉积的薄膜进行了表征和分析,并对AZO薄膜的折射率和厚度进行了理论分析。薄膜的光谱分析结果表明:薄膜样品的可见光透射率平均值均在80%以上。AZO薄膜在紫外有很强的吸收峰,在红外区域,其反射率可达70%。通过理论计算得出了AZO薄膜样品的厚度为101 nm,与台阶仪测量的结果基本相符。

关 键 词：AZO薄膜 光学性质 透射光谱

分 类 号：TN304.2]