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超低温薄膜压力传感器的研究
Research of Ultra Low Temperature Thin Film Pressure Sensor
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]航天长征火箭技术有限公司,北京100076
年 份：2009
期 号：B11
起止页码：171-174
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2008、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量,目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200℃.文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究,通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究,成功研制出超低温薄膜压力传感器,并在-253(液氢)～+60℃温度环境下进行压力传感器静态性能测试,结果表明传感器性能指标优异,实现了超低温薄膜压力传感器技术突破。
关 键 词：薄膜压力传感器薄膜沉积 灵敏度温度自补偿 薄膜激光修调 液氢
分 类 号：TP212]
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