期刊文章详细信息
金刚石薄膜半导体器件
Semiconductor Devices of Diamond Films
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江大学信电系功率器件研究所
年 份：1998
卷 号：35
期 号：5
起止页码：29-35
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍了金刚石薄膜的性质、当今金刚石薄膜半导体器件的技术、水平和性能。分析了金刚石薄膜作为半导体器件的优异性能、金刚石相对于硅的半导体器件性能的改善和存在的问题，并指出实现金刚石薄膜半导体器件的障碍。
关 键 词：金刚石薄膜 半导体器件 半导体材料
分 类 号：TN304.18] TN303
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